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管式爐溫區(qū)的作用

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管式爐溫區(qū)的作用

根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求選擇單溫區(qū)管式加熱爐和多溫區(qū)管式加熱爐,多溫區(qū)較單溫區(qū)設(shè)有多個(gè)熱電偶,n溫區(qū)加熱爐恒溫區(qū)比(n-1)溫區(qū)加熱爐的恒溫區(qū)要長(zhǎng),部分儀器尺寸變大。

1)恒溫區(qū)的作用

恒溫區(qū)一般指加熱爐內(nèi)的某一溫度相同的區(qū)間,樣品放置在這一區(qū)間內(nèi),樣品各處受到的溫度會(huì)基本一致。(中心區(qū)域溫度差小于±1℃)

2)恒溫區(qū)不同帶來的變化

恒溫區(qū)的增加或減少可能會(huì)改變儀器的尺寸,儀器整體會(huì)變大或變小。

3)恒溫區(qū)選擇

選擇合適的恒溫區(qū),一定要先根據(jù)樣品的尺寸或?qū)嶒?yàn)要求的受熱體積來選擇。

A、實(shí)驗(yàn)樣品尺寸大于儀器恒溫區(qū),需要選擇多溫區(qū)來增加恒溫區(qū)的長(zhǎng)度。

B、根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求需要多個(gè)溫度梯度時(shí),這就需要多溫區(qū)來實(shí)現(xiàn)。

例如:通過物理沉積方式在基片上生長(zhǎng)二維材料,原料高溫?fù)]發(fā)后,利用載氣向低壓端移動(dòng),一定溫度下載基片上生長(zhǎng)(相鄰兩個(gè)溫區(qū)最大溫差300℃)

請(qǐng)注意加熱爐加熱區(qū)分為總加熱區(qū)長(zhǎng)度(加熱源能覆蓋的區(qū)域)和恒溫區(qū)長(zhǎng)度。恒溫區(qū)總是小于加熱區(qū)。請(qǐng)選擇一個(gè)恒溫區(qū)尺寸超過您樣品的加熱爐。

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管徑與坩堝對(duì)照表

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如何為CVD設(shè)備選型

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