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質(zhì)量流量控制器
型號(hào):
ZF-MFC-1C
產(chǎn)品概述:
ZF-MFC-1C是一款防腐型單路氣體質(zhì)子流量控制器,結(jié)構(gòu)小巧,操作方便,可用于氣體流量的精確測(cè)量和控制,流量范圍0~100,200,300,500SCCM可選,可與本公司管式爐、CVD系統(tǒng)、熔煉鑄造爐、鍍膜設(shè)備等配套使用,直接數(shù)字設(shè)定流量,穩(wěn)定可靠,操作方便。
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產(chǎn)品特點(diǎn)

·防腐型單路氣體質(zhì)子流量控制器,結(jié)構(gòu)小巧


·DC15V電壓驅(qū)動(dòng)


·流量數(shù)顯設(shè)定顯示,穩(wěn)定可靠,操作方便


·流量范圍:0~100,200,300,500SCCM可選


·配備RS485計(jì)算機(jī)接口,同時(shí)可輸出4~20mA信號(hào),用于計(jì)算機(jī)與遠(yuǎn)程儀表的連接控制


·標(biāo)配N2氣標(biāo)定


工作電源

·AC220V,50/60Hz,7.5W


·配備AC220V轉(zhuǎn)DC15V電源適配器


流量范圍

·0~100,200,300,500SCCM四種規(guī)格可選,特殊規(guī)格可定制

材質(zhì)

·316不銹鋼閥體,耐腐蝕

準(zhǔn)確度

·±2%FS

控制精度

·±1%FS(恒流)

線性

·±2%FS

工作壓差范圍

·0.1~0.5MPa

最大工作壓力

·0.5MPa

設(shè)定流量方式

·鍵入式

進(jìn)出口閥門

·Φ6.35mm卡套式接頭


工作環(huán)境溫度

·-10~50℃

產(chǎn)品尺寸

·168mm L*30mm W*132mm H

產(chǎn)品重量

·0.92kg

質(zhì)保期

·一年保質(zhì)期,終生維護(hù)

使用注意事項(xiàng)

·ZF-MFC-1C可用于腐蝕性氣體的流量測(cè)量與控制,如NH3等


·出廠時(shí)采用氮?dú)猓∟2)標(biāo)定,如通入其他氣體時(shí),需要對(duì)照說(shuō)明書(shū)中不同氣體流量轉(zhuǎn)換系數(shù)表進(jìn)行流量換算


·注意工作壓差,使用時(shí)進(jìn)出氣兩端工作壓差在0.15~0.5MPa范圍內(nèi)


公司環(huán)境

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合肥科晶品牌紀(jì)錄片                                     公司環(huán)境

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附件

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