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500W等離子刻蝕清洗機(jī) (13.56MHz,60mm觀察窗, 射頻0-500W)
型號(hào):
PCE-500W
產(chǎn)品概述:
PCE-500W是一款較大型的500W等離子刻蝕清洗機(jī),等離子腔體為 8.5 "dia x 14.4"L的石英腔體,采用的射頻電源頻率為13.56MHz,功率0 -500W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備功率高,可用于等離子刻蝕、等離子灰化、表面改性以及材料摻雜改性等應(yīng)用。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
主要參數(shù)

射頻功率:0-500W


總功率:1.5KW


電源:AC220V 50/60Hz

射頻電源

射頻功率可在0-500W之間調(diào)節(jié)


頻率:13.56MHz


注:可與本公司工作人員聯(lián)系選購(gòu)1KW高功率等離子刻蝕清洗機(jī)

等離子腔體

8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高純石英腔體


鋁制折疊式法蘭來(lái)進(jìn)行真空密封


法蘭上有一個(gè)直徑為60mm的觀察窗口


此設(shè)備完全屏蔽射頻輻射,零射頻泄漏

控制面板

通過(guò)6" 彩色觸摸屏,可控制射頻功率、真空泵的開(kāi)啟、清洗時(shí)間和氣體流量等


儀器內(nèi)部安裝有一0 - 100ml/minute質(zhì)量流量計(jì),可精確地控制進(jìn)氣流量


真空泵(選配)

儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵


極限真空度為80mTorr(參考值,具體請(qǐng)點(diǎn)擊)

通入氣體

等離子腔體中可以通入多種氣體來(lái)產(chǎn)生等離子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合氣體等等(根據(jù)材料性質(zhì)所定)


不能使用易燃?xì)怏w及腐蝕性氣體。

可選

可選購(gòu) 2" - 6" 石英舟來(lái)盛放基片


可選購(gòu)2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)  

   

產(chǎn)品尺寸

600mm L×600mm W×810mm H

質(zhì)保期

一年保質(zhì)期,終生維護(hù)


特別提示:


1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。


2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

認(rèn)證

·此產(chǎn)品已通過(guò)CE認(rèn)證

  證書(shū)編號(hào):M.2021.206.C67994

·若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證

技術(shù)參數(shù)-6.jpg


相關(guān)應(yīng)用

請(qǐng)自行根據(jù)您的應(yīng)用測(cè)試最佳的等離子功率


對(duì)于等離子清洗,根據(jù)工藝,通常保持射頻功率在10 -100W之間


對(duì)于等離子刻蝕,根據(jù)工藝,通常保持射頻功率在300-500W之間

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附件

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