| 主要特點(diǎn) | 可制備多種薄膜，應(yīng)用廣泛
體積小，操作簡(jiǎn)便
真空腔室、真空泵組整機(jī)模塊化設(shè)計(jì) ，控制電源為分體式設(shè)計(jì)，可根據(jù)用戶實(shí)際需要調(diào)整購(gòu)買(mǎi)需求。
可根據(jù)用戶實(shí)際需要選擇電源，可以一個(gè)電源控制多個(gè)靶槍，也可多個(gè)電源單一控制靶槍，購(gòu)買(mǎi)前請(qǐng)聯(lián)系我公司銷(xiāo)售。 |
||||||||||
| 磁控濺射頭 | 儀器中安裝有3個(gè)磁控濺射頭，而且都帶有水冷夾層（圖一）
其中一個(gè)濺射頭與射頻電源相連接，主要是濺射絕緣性靶材（圖二）
另一個(gè)濺射頭與直流電源相連接，主要濺射導(dǎo)電性靶材
靶材尺寸要求：直徑為50mm,厚度0.1-5mm（因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同）
可以單獨(dú)訂購(gòu)RF連接線作為備用（圖二）
設(shè)備包含一臺(tái)水冷機(jī)，用于靶頭冷卻（圖三 ）
|
||||||||||
| 載樣臺(tái) | 載樣臺(tái)尺寸：φ140mm（最大可放 置4"的基底）
載樣臺(tái)可以旋轉(zhuǎn)，其速度為：1 - 20 rpm （可調(diào)）
載樣臺(tái)最高可加熱溫度為500℃
|
||||||||||
| RF/DC電源 | l此設(shè)備安裝有三個(gè)濺射電源，根據(jù)客戶需求可選（以下兩款射頻電源可任意組合使用）
|
||||||||||
| 真空腔體 | 真空腔體：φ300 mm×300 mm H，采用不銹鋼制作
觀察窗口：Φ100 mm
腔體打開(kāi)方式采用上頂開(kāi)，使得換靶更加容易
|
||||||||||
| 氣體流量控制器 | 儀器內(nèi)部安裝有2個(gè)質(zhì)量流量計(jì)，量程為：0-100sccm
氣體流量設(shè)置可以在6英寸的觸摸屏上進(jìn)行操作
此系統(tǒng)運(yùn)行需要Ar氣，并且氣瓶上安裝有減壓閥（設(shè)備中不包含）
|
||||||||||
| 真空系統(tǒng) | 配有一套GZK-103D分子泵系統(tǒng)（德國(guó)制作）
標(biāo)準(zhǔn)5E-5mbar 極限7.4E-6mbar（僅供參考，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊 ） |
||||||||||
| 薄膜測(cè)厚 | 一個(gè)精密的石英振動(dòng)薄膜測(cè)厚儀安裝 在儀器上，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜的厚度，分辨率為0.10 ?
LED顯示屏顯示，同時(shí)也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)
|
||||||||||
| 產(chǎn)品外型尺寸 ? | L1300mm× W 660mm× H 1200mm
凈重 ：160 kg |
||||||||||
| 質(zhì)保 | 一年保修，終身技術(shù)支持。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
|
||||||||||
| 使用提示 | 此設(shè)備為DIY設(shè)備，參數(shù)變化較大購(gòu)買(mǎi)前請(qǐng)務(wù)必電話仔細(xì)溝通
為了得到較好的薄膜質(zhì)量，必須通入高純氣體（建議> 5N）
在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺(tái)的潔凈
要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合，請(qǐng)?jiān)跒R射前清潔基材表面
超聲波清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片）：（1）丙酮超聲（2）異丙醇超聲-去除油脂（3）吹氮?dú)飧稍?（4）真空烘箱除去水分。
等離子清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片）：可表面粗糙化，可激活表面化學(xué)鍵，可祛除額外的污染物。
制造一個(gè)薄的緩沖層（5納米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力。
|
||||||||||
| 警示 | 注意：產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動(dòng)機(jī)體
氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥（設(shè)備標(biāo)配不包括），保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕
濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶 |
Copyright © 2019 合肥科晶材料技術(shù)有限公司 版權(quán)所有 皖I(lǐng)CP備09007391號(hào)-1 
皖公網(wǎng)安備 34012302000974號(hào)
查看誠(chéng)信檔案
