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2英寸高真空磁控濺射頭
型號：
HVMSS-SPC-2
產(chǎn)品概述：
HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭，可適用的靶材種類較廣，如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環(huán)形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
特征

· 采用高質(zhì)量的不銹鋼和陶瓷材料制作

· 采用電磁場的有元計算法來設(shè)計永磁體，以得到較高的磁場強度和均強場分布

· 磁體表面涂有一層保護層，以防止冷卻水的腐蝕，延長其使用壽命

· 標準的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配

· 安裝是采用標準真空接頭，便于操作

更換靶材較為簡單，無需調(diào)整濺射頭的高度

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所需功率

· DC（最大）1000W

RF（最大）500W
最大濺射電流

3A
濺射電壓

100-1000V
濺射時腔體真空度

5-100 mTorr
濺射均勻性曲線圖

image.png
尺寸

陽極護套直徑：3.5英寸

總長度：14英寸
靶材

直徑: 2.0英寸(50.8mm)

厚度: 對于非磁性靶材，最大厚度為1/8英寸
對于磁性靶材，最大厚度為1/16英寸

靶材利用率：30%

磁鐵:NdFeB 稀土磁鐵
需要冷卻水

流速:0.8 GPM

進水溫度:<20 ℃

水管:0.25" OD.
可選配件

· 當同時購買300W射頻發(fā)射器和2英寸磁控濺射頭時，本公司會贈送一高真空快速接頭

· 此快速接頭的內(nèi)徑為0.75英寸，可將濺射頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸，真空腔體的壁厚不得大于1英寸
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循環(huán)水冷機，流量為16L / min ，水箱容積為6L
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外形尺寸

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質(zhì)保

一年質(zhì)保期，終生維護

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