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1700℃ TSSG法晶體生長(zhǎng)爐
關(guān)鍵字:
TSSG法
型號(hào):
VBF-1700X-TSSG
產(chǎn)品概述:
VBF-1700X-TSSG是一款頂部籽晶法晶體生長(zhǎng)爐,可利用助溶劑法生長(zhǎng)各種材料單晶。箱式爐采用氧化鋁材料,以MoSi2為加熱元件,其腔體尺寸為φ240mm×300mm(H),最高溫度可達(dá)1700℃。24段可編程控制器,可根據(jù)不同的客戶需求來(lái)設(shè)定升降溫程序,控溫精度可達(dá)±0.1℃,配備精密旋轉(zhuǎn)提拉機(jī)構(gòu)可用于生長(zhǎng)各種晶體材料,提拉速度和旋轉(zhuǎn)速度均可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
規(guī)格型號(hào)

VBF-1700X-TSSG

產(chǎn)品特點(diǎn)

圖片10.png·高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,表面涂有氧化鋁涂層,確保爐膛潔凈性,不掉渣

·雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),可保證殼體表面溫度較低。

·諧波減速器+私服電機(jī)保證提拉精度

·采用歐陸儀表精密溫控系統(tǒng),控溫精度可達(dá)+/- 0.1oC



加熱爐基本參數(shù)

·電源:?jiǎn)蜗?/span>208-240VAC,50/60Hz

·功率:最大13KW·長(zhǎng)期工作溫度:1600℃

·控溫?zé)犭娕迹?/span>B型雙鉑銠熱電偶

·爐膛尺寸:φ240mm×300mm(H)

·升溫速率:1400℃以下≤10℃/min ;1400℃到1600℃≤5℃/min

圖片12.png  圖片11.png

溫控系統(tǒng)

· 包含一款EPC3000系列歐陸溫度控制器

· PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)

· 智能化24段可編程控制

· 默認(rèn)DB9 PC通訊連接端口

· 控溫精度:±0.1℃13.png

所有的電氣元件都通過(guò)UL或MET認(rèn)可,并可通過(guò)世界范圍內(nèi)的其他相關(guān)安全測(cè)試


提拉機(jī)構(gòu)

圖片18.png· 提拉桿:直徑10mm氧化鋁桿(可根據(jù)客戶要求定制

· 提拉速度0.03-30mm/h(可調(diào))

· 最大提拉行程:250mm

· 籽晶桿旋轉(zhuǎn)速度:0-30r/min

· 帶有手動(dòng)操作可快速升降

設(shè)備中不包含坩堝需要客戶自己提供


控制系統(tǒng)

· 采用觸摸屏+PLC方式

· 溫控曲線通過(guò)觸摸設(shè)置(升溫,恒溫,降溫)

· 通過(guò)觸摸屏設(shè)置提拉速度,籽晶桿旋轉(zhuǎn)速度

· 實(shí)時(shí)顯示提拉位置

圖片19.png  圖片20.png



外型尺寸

爐體長(zhǎng)款高:600*400*1340mm

控制箱長(zhǎng)寬高:1230*820*2000mm

圖片21.png  

圖片22.png


 










   使用注意事項(xiàng)

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體,請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題,本公司概不負(fù)責(zé)。

· 設(shè)備需在獨(dú)立供電網(wǎng)下工作,電網(wǎng)電壓范圍要求在±8%內(nèi),不可與中頻高頻等高磁場(chǎng)發(fā)生設(shè)備共用供電網(wǎng),遠(yuǎn)離中頻設(shè)備,防止空間電磁輻射。

·如果同一供電回路存在中、高頻設(shè)備,或者大型感性負(fù)載,應(yīng)在供電回路加入適當(dāng)?shù)碾娍构駷V波,配置電容柜自動(dòng)補(bǔ)償,諧波檢測(cè)和治理,對(duì)設(shè)備進(jìn)行電磁隔離處理,否則可能導(dǎo)致加熱爐工作不穩(wěn)定甚至損壞!此類問(wèn)題導(dǎo)致加熱爐故障或損壞不屬于保修范圍。

·設(shè)備請(qǐng)遠(yuǎn)離存在液體飛濺場(chǎng)所

·設(shè)備請(qǐng)遠(yuǎn)離存在導(dǎo)磁導(dǎo)電粉末

·保溫和加熱元件為損耗件,保溫材料在燒結(jié)過(guò)程中出現(xiàn)裂紋為正?,F(xiàn)象,可使用修補(bǔ)劑修補(bǔ),加熱元件為損耗件,在電爐長(zhǎng)時(shí)間使用后無(wú)法達(dá)到工作溫度和升溫明顯緩慢后聯(lián)系廠家判斷是否要進(jìn)行更換,

·該設(shè)備高精度溫控范圍為300-1600℃,低溫運(yùn)行會(huì)存在溫度振蕩



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