| 設(shè)備名稱 | ? 1200°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-III-HVC （2019.12.12—科晶實(shí)驗(yàn)室審核） |
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| 產(chǎn)品提示 | 科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong> 圖片未及時(shí)更新提示 多種配件可選提示 危險(xiǎn)設(shè)備操作提示 |
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| 主要特點(diǎn) | ? 高熔點(diǎn)物質(zhì)能夠在低溫下合成 ? 可生長(zhǎng)單晶、多晶、晶須、粉末、薄膜等多種物質(zhì) ? 不僅可以在基片上進(jìn)行生長(zhǎng)，還可以在粉體表面生長(zhǎng) ? 雙層殼體結(jié)構(gòu)，便帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于55度 ? 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命 ? 三個(gè)溫區(qū)，可以獨(dú)立控溫 |
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| 基本參數(shù) | 一、加熱爐 ? 溫度：1100℃（1200℃＜1h） ? 總加熱長(zhǎng)度: 900mm (300mm + 300mm + 300mm) ? 升溫速率：≤10℃/min ? 三個(gè)精密溫度控制器分別控制三個(gè)溫區(qū) ? 恒溫精度：±1℃ ? 熱偶：K型熱偶 ? 電源：AC208-240 50/60Hz ? 功率：最大7KW
二、供氣系統(tǒng)
三、高真空機(jī)組
更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷售部 |
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| 加熱元件和溫控系統(tǒng) | ? 摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層，可以極大程度延長(zhǎng)使用壽命） ? 包含一款YD858P型溫度控制器 ? PID自動(dòng)控溫系統(tǒng) ? 智能化50段可編程控制 ? 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口 ? 通過MET認(rèn)證 ? 可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)。 |
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| 爐體結(jié)構(gòu)和爐管尺寸 | ? 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng) ? 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長(zhǎng)爐膛使用壽命） ? 高純石英管
外徑: 80 ×長(zhǎng): 1000 mm 外徑: 100 ×長(zhǎng): 1000 mm |
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| 尺寸 | ? 加熱爐外形尺寸：1000 L x 430 W x 700 H mm ? 供氣系統(tǒng)外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm ? 高真空機(jī)組外形尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm |
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| 重量 | ? 加熱爐約45Kg ? 供氣系統(tǒng)約36Kg ? 真空機(jī)組約60Kg |
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| 認(rèn)證 | ? 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。 |
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| 質(zhì)保 | ? 一年質(zhì)保期，終生維護(hù) ? 特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
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應(yīng)用技術(shù)提示 | 1、供氣系統(tǒng)應(yīng)用提示 ? 嚴(yán)禁氧氣和氫氣同時(shí)使用或混合使用，使用有毒有害，易燃易爆的氣體前請(qǐng)嚴(yán)格檢查氣路的氣密性，使用氫氣前排空管內(nèi)的氧氣。不用氫氣時(shí)，應(yīng)關(guān)閉閥門。 ? 第一次使用，或長(zhǎng)時(shí)間不用再次使用時(shí)，請(qǐng)分別點(diǎn)擊二個(gè)“通道清洗”（清洗通道），將管路內(nèi)有可能存在的污染物或氣體進(jìn)行吹洗。 ? 流量計(jì)通道采用的材料為: 00Cr17Ni14Mo2 (相當(dāng)于316L不銹鋼) ,氟橡膠等為易腐蝕材料。通入的氣體應(yīng)無水汽、低泄漏、需勤清洗、如果要使用腐蝕性氣體用戶應(yīng)在定貨時(shí)聲明。 ? 不得通氯化物、硫化物、氨氣等易腐蝕的氣體，否則容易損壞通氣管道，混氣罐等不銹鋼材質(zhì)的配件。由于通入腐蝕性氣體而造成的設(shè)備損壞公司售后維修會(huì)收取相應(yīng)的費(fèi)用。 ? 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向混氣系統(tǒng)內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥。減壓閥應(yīng)采用調(diào)控范圍在0.02—0.25Mpa 的專用氣體減壓閥（YQY-6（氧）、 YQQ-9（氫）、YQE-03（乙炔）、YAr-04（氬氣）等） ? 氫氣瓶必須使用專用的減壓器，開啟氣瓶時(shí)，操作者應(yīng)站在閥口的側(cè)后方，動(dòng)作要輕緩。 ? 氣瓶應(yīng)放置在陰涼通風(fēng)處，避免陽光直曬，又能耐火的專門建筑物或室外，嚴(yán)禁將氣瓶和高溫設(shè)備放在一起。 ? 嚴(yán)禁使用瓶口有油污的氧氣瓶。 ? 每只氣瓶最低必須保留0.5 MPa的余壓。 2、加熱爐應(yīng)用提示 ? 不能超溫使用加熱爐。 ? 升溫速度不可超過規(guī)定加熱速度，否則會(huì)造成加熱元件損壞。 ? 為了在管式爐內(nèi)獲得準(zhǔn)確的溫度，在使用前需要校準(zhǔn)溫度，請(qǐng)點(diǎn)擊這里了解如何使用 3、高真空機(jī)組應(yīng)用提示 ? 分子泵關(guān)閉以后，必須等待分子泵渦輪停止后才能斷電。 ? 建議分子泵與腔體間安裝有閥門，一旦實(shí)驗(yàn)腔體出現(xiàn)意外，可以直接關(guān)閉閥門保護(hù)分子泵。 ? 分子泵上顯示的真空度僅代表分子泵進(jìn)氣口端的真空度。 |
警示 | 1、供氣系統(tǒng)注意事項(xiàng) ? 嚴(yán)禁氧氣和氫氣同時(shí)使用或混合使用，使用有毒有害，易燃易爆的氣體前請(qǐng)嚴(yán)格檢查氣路的氣密性，使用氫氣前排空管內(nèi)的氧氣。不用氫氣時(shí)，應(yīng)關(guān)閉閥門。 ? 不要放在不平或有震動(dòng)的產(chǎn)所，否則容易引發(fā)設(shè)備不穩(wěn)而傾倒的危險(xiǎn)。 ? 不要將螺釘、墊片等金屬物掉進(jìn)設(shè)備內(nèi)部，否則有使設(shè)備發(fā)生短路或火災(zāi)的危險(xiǎn)。 ? 不要放在容易濺上水的場(chǎng)所，水等進(jìn)入產(chǎn)品本體的話，可能引起火災(zāi)、觸電事故。 ? 設(shè)備的控制電路部分要進(jìn)行定期檢查（半年檢查一次），對(duì)線路進(jìn)行緊固，若發(fā)現(xiàn)有線路有絕緣層脫落、接線脫落時(shí)應(yīng)及時(shí)處理，否則會(huì)導(dǎo)致設(shè)備短路或發(fā)生火災(zāi)的危險(xiǎn)。 ? 必須由具有專業(yè)資格的人員才能更換零件，嚴(yán)禁將線頭或金屬物遺留在設(shè)備內(nèi)，否則有引發(fā)爆炸和發(fā)生火災(zāi)的危險(xiǎn)。 2、加熱爐注意事項(xiàng) ? 不要將裝有溶液的容器放在儀器上，防止造成儀器短路 ? 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ? 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 ? 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) ? 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 ? 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃ 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） 3、高真空機(jī)組注意事項(xiàng) ? 使用前請(qǐng)仔細(xì)閱讀說明書，防止操作不當(dāng)將導(dǎo)致儀器損壞。 ? 真空泵不可以抽腐蝕性或爆炸性氣體。 ? 真空泵不可以抽冷凝蒸氣。 ? 真空泵不可以抽液體。 ? 真空泵不可以抽粉塵。 ? 真空泵不可以抽高溫氣體。 ? 請(qǐng)不要在潛在的爆炸區(qū)域進(jìn)行操作。 ? 為了保護(hù)環(huán)境和人體健康，請(qǐng)使用尾氣過濾器，以盡量減少排放污染物。 ? 為保護(hù)真空泵免受冷凝蒸氣或小顆粒的損壞，請(qǐng)將冷阱或微粒捕集器連接到泵的前級(jí)管上 |
相關(guān)可選 |
法蘭，法蘭結(jié)構(gòu)可以根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求進(jìn)行組裝。 |
可選購(gòu)石英管堵，提高爐管內(nèi)的潔凈度和幫助獲得高真空 |
您可能需要在真空端部安裝一個(gè)手動(dòng)擋板閥 |
可選購(gòu)防腐型數(shù)顯真空表EQ-PCG-554 用于乙炔甲烷氫氣等其他氣體氛圍下的真空度測(cè)量 | |
根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求選擇國(guó)產(chǎn)和進(jìn)口分子泵 |
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選配機(jī)械泵，維持工作區(qū)間的低壓環(huán)境 |
可選購(gòu)MTS02-B控溫模塊，可用電腦設(shè)置和顯示溫度程序 | |
溫度校準(zhǔn)套件 |
可選購(gòu)歐陸型溫控儀表，恒溫精確度可以提升到±0.1℃ |
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? 尺寸： 外徑: 50 ×長(zhǎng): 1000 mm 外徑: 60 ×長(zhǎng): 1000 mm 
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