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1100度小型真空/氣氛快速升降溫RTP滑軌爐(載物臺:4英寸 升溫速度:50度/S)
關鍵字:
最大加熱速率50°C/s、CVD
型號:
OTF-1200X-RTP-4-SL
產(chǎn)品概述:
OTF-1200X-4-RTP-SL 是一款快速熱處理爐,采用短波紅外燈管加熱,最大加熱速率高達50°C/s。爐子的底部安裝有一對滑軌,可使爐子從爐管的一側滑動到另一側,以實現(xiàn)快速加熱和快速冷卻。 該爐設計用于通過CVD生長石墨烯和碳納米管。
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技術參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
產(chǎn)品名稱

1100度小型真空/氣氛快速升降溫RTP滑軌爐(載物臺:4英寸 升溫速度:50度/S)OTF-1200X-RTP-4-SL


產(chǎn)品提示

1.多種配件可選提示     2.科晶實驗室邀請?zhí)崾?/span>  ?  3.配件妥善保管提示


主要特點

? 采用短波紅外燈管對樣品加熱,可達到快速加熱的效果。

? 快速升溫,最高達50℃/s。

? 超大管徑φ110mm。

? 安裝了一組滑軌,可使用控制旋鈕使熔爐自動以可變速度從一側移動到另一側。

? 最高溫度可達1100℃。

? 雙層殼體結構,并帶有風冷系統(tǒng),可有效降低殼體表面溫度。

? 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。

? 開門斷電,提高實驗安全性。

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基本參數(shù)

·最大1100oC,持續(xù)時間<10分鐘

·最大1000oC,持續(xù)<20分鐘(注意:如果運行時間更長,爐殼將>100oC,必須使用風扇從外部冷卻爐殼)

·最大800oC,持續(xù)時間<120分鐘

·連續(xù)溫度最高600oC

? 法蘭:KF-25D型不銹鋼高真空法蘭                          

? 加熱元件:8根紅外燈管(每根1.5KW)    

? 最大功率:12KW(>60A 保險)       

? 設備電源:AC220V/50HZ 單相 

? 循環(huán)水流量:0.5 m3/h

? 標配流量計量程范圍:16-160 ml/min


爐管及滑軌

? 高純石英管?4英寸外徑x 1400mm長

? 鍍鉻鋼制成的雙滑軌

? 滑軌長度:1400毫米

? 直流電機驅動


滑動控制

? 自動滑動由溫度控制器控制。 加熱程序完成后,爐子將以設定的速度從右向左滑動。風扇會吹動加熱區(qū)域以實現(xiàn)快速冷卻。

? 滑動范圍:340mm

? 滑動速度可調(diào)

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真空法蘭

? 不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端,便于組裝,法蘭上有1/4英寸直徑的通孔,用于插入K型熱電偶。

? 法蘭端提供多種接頭可選,具體請咨詢銷售。

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溫控系統(tǒng)

? 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設置50段升降溫程序

? 溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護

? 儀表控溫精度: +/- 1°C

? 熱電偶型號:K型


開門斷電

? 為保證使用安全,該電爐為開門斷電設計

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質保

? 一年保修,終身技術支持。
? 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

           2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

點擊查看售后服務承諾書。


文獻

 相關文獻:Rapid hybrid chemical vapor deposition for effiffifficient and hysteresis-free perovskite solar modules with an operation lifetime exceeding 800 hours


科晶實驗室對OTF-1200X-4-RTP設備的追溫溫差和恒溫精度做了一系列實驗研究,得出以下經(jīng)驗以供參考:


1)升溫速率越慢,控溫精度越高,升溫速率越快,追溫溫差越大。

升溫速率

追溫溫差

控溫精度恒溫精度

1℃/s

< 5℃

+-0.5℃

2℃/s

< 10℃

+-1℃

50℃/s

溫差較大,但30s內(nèi)恒溫

+-1℃



2)570℃以下降溫不可控。

降溫速率

可控溫度情況(參考)

40℃/min

570℃以上,可控制降溫

60℃/min

600℃以上,可控制降溫且誤差<5℃,600℃-570℃,誤差<10℃





實驗名稱:RTP快速升溫爐的升溫速度與最終溫度間的可調(diào)關系

實驗目的:1、升溫速度能否保持恒定;

2、恒溫波動是否小于1℃;

3、實現(xiàn)目的:保持一定的升溫速度,待到達恒溫溫度時,升溫速度減緩的溫度點越接近恒溫溫度越好。

適用領域:鐵磁性材料的制備

實驗結果:

100℃/min,到400℃

斜率基本恒定;沖溫<1℃;升速減緩點在398℃

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100℃/min,到700℃

斜率基本恒定;沖溫<1℃;升速減緩點在698℃

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400℃/min,到400℃

斜率基本恒定;沖溫≤1℃;升速減緩點在395℃

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400℃/min,到700℃

斜率基本恒定;沖溫≤1℃;升速減緩點在395℃

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300℃/min,到700℃

斜率基本恒定;沖溫≤1℃;升速減緩點在795℃

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600℃/min,到700℃

斜率基本恒定;沖溫≤2℃;升速減緩點在790℃

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以上數(shù)據(jù)總結,存在調(diào)試差異,具體詳情請聯(lián)系合肥科晶實驗室


應用技術提示

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥。

· 進入爐管的氣體流量需小于200sccm,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。

· 該設備的長時間使用溫度為600℃。

· 降溫時請利用程序降溫,不建議直接按“STOP”鍵降溫,設備溫度未降到室溫前不要直接關掉設備電源,防止出現(xiàn)安全問題。

· 在進行化學氣相沉積后,石墨烯可從金屬催化劑轉移到另一個基片襯底上,此法可被廣泛應用制備二維材料。通過CVD法生長的石墨烯,表面平整度高且無殘渣。

· 此爐可以增加鍍SiC的石墨坩堝改造成RTE(快速熱蒸發(fā))爐(可查看下方的圖片自己制備RTE)

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注意事項

· 當爐體溫度高于900℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)。

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。

· 爐管不建議正壓使用,對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)。

· 滑動加熱室即可快速冷卻樣品。 如果要這樣做,請穿戴防護裝備,例如耐熱服和手套。 加熱時請勿觸摸管子表面。

· 如需高溫取樣,請務必穿戴好安全裝置。


可選配件

· 紅外燈管為可更換的(圖1),如有需要請聯(lián)系我們的銷售人員。

· 樣品架可選:3"O.D的石墨襯底替代AlN陶瓷片。(圖2)

· 可選:將含坩堝蓋蓋規(guī)格為87 O.D×71 I.D×12 H mm的石墨坩堝設計三個坩堝架,則可被改造成一個RTE,CSS或HPCVD爐,另外石墨坩堝表面涂有SiC涂層。(圖3)

· 多種供氣系統(tǒng)可選。(圖4)

· 建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。(請點擊這里學習如何安裝減壓閥)。(圖5)

· 可選購壓力控制模塊來監(jiān)控并保持工作腔室壓力穩(wěn)定。(圖6)

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          圖1                       圖2                      圖3


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          圖4                       圖5                      圖6

PC控制(選配)

· 請在購買爐子前,準備一臺電腦。

· 可選購MTS-02?控制軟件,可在電腦上顯示和設定壓力和溫度程序,以達到遠程控制。

· 購買帶有PC控制的加熱爐,如有疑問請聯(lián)系我們的銷售人員。

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真空配件(選配)

· 真空可選配件包括真空泵,波紋管和手動擋板閥。

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· 對于易損耗件高溫硅膠O型密封圈除了標配數(shù)量外可進行額外訂購。

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· 機械真空計(作為設備標配),范圍從-0.1到0.15Mpa。

· 可選配防腐型數(shù)顯真空表,測量范圍為3.8×10E -5至1125 Torr之間。除了具有較高的精度和重復性及較短的響應時間外,該儀表還降低了由于氣體類型依賴性而造成的氣壓讀數(shù)錯誤從而導致的腔室爆炸風險。

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真空泵組(選配)

此設備也可以進行抽真空,配合本公司生產(chǎn)的真空泵組

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