產(chǎn)品名稱 | 1100度小型真空/氣氛快速升降溫RTP滑軌爐(載物臺:4英寸 升溫速度:50度/S)OTF-1200X-RTP-4-SL |
產(chǎn)品提示 | 1.多種配件可選提示 2.科晶實驗室邀請?zhí)崾?/span> ? 3.配件妥善保管提示 |
主要特點 | ? 采用短波紅外燈管對樣品加熱,可達到快速加熱的效果。 ? 快速升溫,最高達50℃/s。 ? 超大管徑φ110mm。 ? 安裝了一組滑軌,可使用控制旋鈕使熔爐自動以可變速度從一側移動到另一側。 ? 最高溫度可達1100℃。 ? 雙層殼體結構,并帶有風冷系統(tǒng),可有效降低殼體表面溫度。 ? 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。 ? 開門斷電,提高實驗安全性。 |
基本參數(shù) | ·最大1100oC,持續(xù)時間<10分鐘 ·最大1000oC,持續(xù)<20分鐘(注意:如果運行時間更長,爐殼將>100oC,必須使用風扇從外部冷卻爐殼) ·最大800oC,持續(xù)時間<120分鐘 ·連續(xù)溫度最高600oC ? 法蘭:KF-25D型不銹鋼高真空法蘭 ? 加熱元件:8根紅外燈管(每根1.5KW) ? 最大功率:12KW(>60A 保險) ? 設備電源:AC220V/50HZ 單相 ? 循環(huán)水流量:0.5 m3/h ? 標配流量計量程范圍:16-160 ml/min |
爐管及滑軌 | ? 高純石英管?4英寸外徑x 1400mm長 ? 鍍鉻鋼制成的雙滑軌 ? 滑軌長度:1400毫米 ? 直流電機驅動 |
滑動控制 | ? 自動滑動由溫度控制器控制。 加熱程序完成后,爐子將以設定的速度從右向左滑動。風扇會吹動加熱區(qū)域以實現(xiàn)快速冷卻。 ? 滑動范圍:340mm ? 滑動速度可調(diào) |
真空法蘭 | ? 不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端,便于組裝,法蘭上有1/4英寸直徑的通孔,用于插入K型熱電偶。 ? 法蘭端提供多種接頭可選,具體請咨詢銷售。 |
溫控系統(tǒng) | ? 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設置50段升降溫程序 ? 溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護 ? 儀表控溫精度: +/- 1°C |
開門斷電 | ? 為保證使用安全,該電爐為開門斷電設計 |
質保 | ? 一年保修,終身技術支持。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
文獻 |
科晶實驗室對OTF-1200X-4-RTP設備的追溫溫差和恒溫精度做了一系列實驗研究,得出以下經(jīng)驗以供參考:
1)升溫速率越慢,控溫精度越高,升溫速率越快,追溫溫差越大。
升溫速率 | 追溫溫差 | 控溫精度(恒溫精度) |
1℃/s | < 5℃ | +-0.5℃ |
2℃/s | < 10℃ | +-1℃ |
50℃/s | 溫差較大,但30s內(nèi)恒溫 | +-1℃ |
2)570℃以下降溫不可控。
降溫速率 | 可控溫度情況(參考) |
40℃/min | 570℃以上,可控制降溫 |
60℃/min | 600℃以上,可控制降溫且誤差<5℃,600℃-570℃,誤差<10℃ |
實驗名稱:RTP快速升溫爐的升溫速度與最終溫度間的可調(diào)關系
實驗目的:1、升溫速度能否保持恒定;
2、恒溫波動是否小于1℃;
3、實現(xiàn)目的:保持一定的升溫速度,待到達恒溫溫度時,升溫速度減緩的溫度點越接近恒溫溫度越好。
適用領域:鐵磁性材料的制備
實驗結果:
100℃/min,到400℃ | 斜率基本恒定;沖溫<1℃;升速減緩點在398℃ | |
100℃/min,到700℃ | 斜率基本恒定;沖溫<1℃;升速減緩點在698℃ | |
400℃/min,到400℃ | 斜率基本恒定;沖溫≤1℃;升速減緩點在395℃ | |
400℃/min,到700℃ | 斜率基本恒定;沖溫≤1℃;升速減緩點在395℃ | |
300℃/min,到700℃ | 斜率基本恒定;沖溫≤1℃;升速減緩點在795℃ | |
600℃/min,到700℃ | 斜率基本恒定;沖溫≤2℃;升速減緩點在790℃ | |
以上數(shù)據(jù)總結,存在調(diào)試差異,具體詳情請聯(lián)系合肥科晶實驗室 |
應用技術提示 | · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥。 · 進入爐管的氣體流量需小于200sccm,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。 · 該設備的長時間使用溫度為600℃。 · 降溫時請利用程序降溫,不建議直接按“STOP”鍵降溫,設備溫度未降到室溫前不要直接關掉設備電源,防止出現(xiàn)安全問題。 · 在進行化學氣相沉積后,石墨烯可從金屬催化劑轉移到另一個基片襯底上,此法可被廣泛應用制備二維材料。通過CVD法生長的石墨烯,表面平整度高且無殘渣。 · 此爐可以增加鍍SiC的石墨坩堝改造成RTE(快速熱蒸發(fā))爐(可查看下方的圖片自己制備RTE) |
注意事項 | · 當爐體溫度高于900℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)。 · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 · 爐管不建議正壓使用,對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)。 · 滑動加熱室即可快速冷卻樣品。 如果要這樣做,請穿戴防護裝備,例如耐熱服和手套。 加熱時請勿觸摸管子表面。 · 如需高溫取樣,請務必穿戴好安全裝置。 |
可選配件 | · 紅外燈管為可更換的(圖1),如有需要請聯(lián)系我們的銷售人員。 · 樣品架可選:3"O.D的石墨襯底替代AlN陶瓷片。(圖2) · 可選:將含坩堝蓋蓋規(guī)格為87 O.D×71 I.D×12 H mm的石墨坩堝設計三個坩堝架,則可被改造成一個RTE,CSS或HPCVD爐,另外石墨坩堝表面涂有SiC涂層。(圖3) · 多種供氣系統(tǒng)可選。(圖4) · 建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。(請點擊這里學習如何安裝減壓閥)。(圖5) · 可選購壓力控制模塊來監(jiān)控并保持工作腔室壓力穩(wěn)定。(圖6) 圖1 圖2 圖3 圖4 圖5 圖6 |
PC控制(選配) | · 請在購買爐子前,準備一臺電腦。 · 可選購MTS-02?控制軟件,可在電腦上顯示和設定壓力和溫度程序,以達到遠程控制。 · 購買帶有PC控制的加熱爐,如有疑問請聯(lián)系我們的銷售人員。 |
真空配件(選配) | · 真空可選配件包括真空泵,波紋管和手動擋板閥。 · 對于易損耗件高溫硅膠O型密封圈除了標配數(shù)量外可進行額外訂購。 · 機械真空計(作為設備標配),范圍從-0.1到0.15Mpa。 · 可選配防腐型數(shù)顯真空表,測量范圍為3.8×10E -5至1125 Torr之間。除了具有較高的精度和重復性及較短的響應時間外,該儀表還降低了由于氣體類型依賴性而造成的氣壓讀數(shù)錯誤從而導致的腔室爆炸風險。 |
真空泵組(選配) | 此設備也可以進行抽真空,配合本公司生產(chǎn)的真空泵組 |
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