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4英寸氣體分散噴頭(用于DIY ALD/CVD系統(tǒng))
型號(hào):
SH-4
產(chǎn)品概述:
SH-4是一款氣體分散噴頭,了將前驅(qū)氣體非常均勻地傳輸?shù)紸LD或CVD腔體。此款產(chǎn)品非常適用到大尺寸基片上(最大4英寸),采用CVD法成膜。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
產(chǎn)品名稱

4英寸氣體分散噴頭-SH-4 (2020.12.05——科晶實(shí)驗(yàn)室審核)

產(chǎn)品提示

1.多種配件可選提示  2.科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong>  3.配件妥善保管提示

技術(shù)參數(shù)

·材料:頂部法蘭為304不銹鋼,底部噴頭為鋁合金

·密封圈:硅膠密封圈

·氣管接口:外徑14mm,內(nèi)徑6.35mm

·噴頭孔徑:Φ0.5mm

·噴頭流道:特殊的流道設(shè)計(jì),確保氣體/蒸汽均勻的分散和傳輸

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外形參數(shù)

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認(rèn)證

若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。


圖片7.png


質(zhì)保

·一年保修,終身技術(shù)支持。
·特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

            2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

·點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。


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附件

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