| 產(chǎn)品名稱 | ALD系統(tǒng)ALD-800X-4-PE |
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| 基本參數(shù) | · 電源：AC 220V 50/60HZ · 功率：3.8KW |
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| 控制面板 | · 所有ALD參數(shù)都通過6英寸觸摸屏設(shè)置，包括氣體注入時間，惰性氣體的流量、溫度和樣品臺旋轉(zhuǎn)速度等 · ALD閥的脈沖時間和循環(huán)可以控制在0.5秒級別的精度 · 控制載氣通道氣體流量的質(zhì)量流量計(jì)精度為±1.5%F.S · 可實(shí)時顯示腔體內(nèi)部真空度
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| 高頻ALD閥 | · 系統(tǒng)配置4個高頻ALD閥門 · 最短控制開關(guān)時間：0.5秒 · 可實(shí)現(xiàn)對氣相源和固相源氣化的精確控制 · 閥門最高耐溫：232℃
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| 氣路控制系統(tǒng) | 整個系統(tǒng)的氣路連接示意圖如下：
· 第一路ALD閥門連接的是工作氣體，前端通過精密調(diào)節(jié)針閥控制； · 第二路ALD閥門連接的是備用氣體，前端通過精密調(diào)節(jié)針閥控制； · 第三路ALD閥門連接的是固相源1； · 第四路ALD閥門連接的是固相源2； · 另外系統(tǒng)配置有一路載氣，通過一個4通變徑分別連接到4個ALD閥門的載氣端。載氣通過質(zhì)量流量控制器控制，流量計(jì)量程：1-500SCCM · 工作環(huán)境溫度：5-45℃ · 最大耐壓：3*106Pa · 準(zhǔn)確度：±1.5%F.S |
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| 氣液混合罐系統(tǒng) | 系統(tǒng)配置有兩套氣液混合罐，用于固相源的氣化
· 混合罐容積：150ml (150ml,300ml,600ml,1000ml可選) · 混合罐材質(zhì)：316L · 最大壓力：0.15MPa · 壓力表范圍：-0.1MPa—0.15MPa · 最高加熱溫度：200℃ · 控溫精度：±1℃，可實(shí)現(xiàn)28段程序PID控溫 · 從氣液混合罐到氣體分散噴頭的氣體連接管路外面都纏繞有管道加熱帶，用于給管道保溫，防止固相源由于溫度過低冷凝。 · 管道加熱帶最高加熱溫度：200℃ |
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| 氣體/蒸汽分散噴頭 | · 材料：鋁合金和不銹鋼 · 噴頭直徑：4英寸；噴孔直徑：0.5mm · φ6.35的通氣接口用于連接ALD閥 · 特殊的流道設(shè)計(jì)，可使氣體/蒸汽均勻的傳遞和分散到沉積腔體中
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| 基片樣品臺 | · 4英寸可旋轉(zhuǎn)加熱的基片樣品臺 · 轉(zhuǎn)速：1-5RPM · 溫度：最高溫度700℃（＜1h）；長期使用溫度：500℃ · 控溫精度：±5℃，可實(shí)現(xiàn)28段程序PID控溫； · 可沉積基片最大尺寸：φ100mm（φ4"） |
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| 射頻電源 （選配） | · 本系統(tǒng)可選配加上PE功能，利用射頻電源產(chǎn)生的交變磁場，使反應(yīng)氣體產(chǎn)生高密度等離子體，從而促進(jìn)薄膜的沉積和生長。 · 輸出功率：5-100W · 射頻頻率：13.56HZ · 反射功率：最大20W · 匹配：自動 · 射頻接口:50 Ω, N-type |
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| 真空腔室 | · 石英腔室尺寸：約165 mm 外徑. X 150 mm 內(nèi)徑 x 250 mm高度 · 304不銹鋼法蘭，確保腔體真空度：10-5 torr（分子泵系統(tǒng)），10-2Torr(機(jī)械泵） |
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| 真空泵和冷阱（選配） | 設(shè)備中標(biāo)配不含真空泵，建議可選購真空泵或者干泵用于CVD/ALD實(shí)驗(yàn)
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| 氣體探測系統(tǒng) （選配） | · 設(shè)備可配置一套氣體探測器在此系統(tǒng)中，為固定式，安裝在固定支架上面，可以實(shí)時監(jiān)測設(shè)備氣體的泄漏情況 · 監(jiān)測范圍：0-100ppm · 工作溫度：-20℃——60℃ · 報警點(diǎn)設(shè)置：氣體報警器設(shè)置有兩個報警，第一級的報警點(diǎn)10ppm，一旦探測到泄露氣體濃度達(dá)到此值時， 氣體報警器將發(fā)出蜂鳴報警聲，提醒客戶檢查漏氣點(diǎn)。第二級的報警點(diǎn)為20ppm，一旦探測到泄露氣體濃度到達(dá)此值時， 系統(tǒng)將自動關(guān)閉氣體進(jìn)氣閥。 |
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| 設(shè)備外形尺寸 | ALD系統(tǒng)：700*600*1400mm（長*寬*高） 射頻電源：600*600*700mm（長*寬*高）
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| 重量 | 約115KG |
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| 質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不含石英管、密封圈等易損件） |
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| 認(rèn)證 | ·此產(chǎn)品已通過CE認(rèn)證 證書編號：M.2021.206.C67994 ·若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
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| 注意事項(xiàng) | · 腔室內(nèi)壓力不能超過0.02Mpa · 氣瓶請安裝減壓閥，減壓閥端壓力要≤0.02MPa · 樣品臺的最高升溫速率請不要超過10度/min，過高的升溫速率會縮短加熱元件的使用壽命 · 本設(shè)備不提倡、不建議使用易燃易爆、有毒有害氣體，如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用，請客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。 由于使用易燃易爆和有毒氣體 而造成的相關(guān)問題，本公司概不負(fù)責(zé)。 · 使用前請確保氣體探測器使用正常 |
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