| 產(chǎn)品名稱型號 | 1200℃小型PECVD管式爐系統(tǒng)-OTF-1200X-50S-PE(科晶實驗室、科晶技術部審核） |
| 產(chǎn)品特點 | ·射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度； ·整套設備尺寸小巧； ·可通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學計量； ·可通過射頻電源的頻率來進行控制薄膜的應力。 |
| 加熱爐參數(shù) | ·輸入電源：208-240V AC，功率：1.2KW； ·最高溫度：1200℃（＜30min）；連續(xù)工作溫度：1100℃； ·推薦升溫速率：≤10℃/min； ·加熱區(qū)：200mm； ·PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃； ·熱偶：K型熱偶； ·石英管口徑：φ50×1200mm； ·爐膛采用高純氧化鋁材料制成，爐膛表面涂有美國進口高溫氧化鋁涂層可以提高加熱效率和爐膛使用壽命。 ·加熱爐尺寸：900mmL×330mmW×390mmH
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| 500W射頻電源 | ·輸出功率：0-500W可調(diào)（穩(wěn)定性：±1%） ·射頻頻率：13.56MHz（穩(wěn)定性：±1%） ·匹配：自動匹配 ·噪音：＜50dB ·冷卻方式：風冷 ·輸入電壓：AC108-250V |
| 真空系統(tǒng) | · 電源：AC220V/50Hz · 功率：0.55KW · 極限真空度：5.0*10-1Pa（無負載） · 抽氣速率：3L/s · 抽氣口：KF25接口 · 可選配真空度更高的系統(tǒng)
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| 密封法蘭系統(tǒng) | · 標配一套不銹鋼真空法蘭 · 進氣端法蘭上安裝了一個機械壓力表用于觀察爐管內(nèi)的壓力，壓力表范圍-0.1-0.15MPa；一個φ6.35的卡套接頭作為進氣口使用，并通過一個不銹鋼針閥控制進氣的通斷 · 出氣端法蘭包含一個φ8mm寶塔氣嘴的出氣口，并通過一個不銹鋼針閥控制出氣的通斷。一個KF25接口為抽真空接口，用于連接真空系統(tǒng)。一個KF16的接口用于連接電阻真空計。
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| 外形尺寸 | ·1500mmL*600mmW*1200mmH |
| 重量 | 75KG |
| 質(zhì)保期 | 1年（不包含爐管、O型圈、加熱元件等損耗件） · 特別提示： 1、耗材部分如加熱元件、爐管、樣品坩堝等不包含在內(nèi)； 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)； |
使用注意事項 | · 石英管內(nèi)的氣壓不可高于0.02MPa； · 氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全； · 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開出氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題，本公司概不負責。 |
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