設(shè)備名稱型號 | 供氣系統(tǒng) GSL-1Z-LCD |
產(chǎn)品特點 | · 結(jié)構(gòu)小巧,操作方便 · 數(shù)字式流量設(shè)定,方便快捷 · 流量顯示精準,穩(wěn)定可靠 |
基本參數(shù) | · 電源:AC 220V 50HZ · 功率:20W · 流量范圍:5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM 1,2,3,5,10 SLM · 準確度:±1.5% F.S |
結(jié)構(gòu) | · 設(shè)備背面設(shè)有兩個φ6.35的卡套接頭,一個為進氣口,一個為出氣口 · 外部通氣管道為1/4″的聚四氟管 · 內(nèi)部通氣管道為1/4″的不銹鋼管 · 一個φ6.35帶塑料手柄的直角針閥安裝在設(shè)備前面板,控制氣體的通斷。 · 一個顯示儀用于調(diào)節(jié)氣體流量與管道的清洗。 |
顯示儀 | · 型號:D08-1F · 最大流量顯示為:9999 · 顯示儀的面板上裝有“閥控”開關(guān)。閥控開關(guān)有三個位置,正常工作時置于“閥控”位,需要通氣清洗通道時,置于“清洗”位,不用時應(yīng)置于“關(guān)閉”位。 · 設(shè)有一個流量設(shè)定旋鈕,通過旋轉(zhuǎn)旋鈕調(diào)節(jié)進氣流量的大小,如下圖:氣體流量為93(先讀旋鈕A上的十位數(shù),再讀旋鈕B上的個位數(shù))。C為機械鎖(鎖上后旋鈕無法轉(zhuǎn)動) · 當(dāng)需要設(shè)定的流量為100 SCCM時,需將A、B旋鈕順時針旋轉(zhuǎn)到0,即上下旋鈕所對應(yīng)的數(shù)字為“00”。 |
設(shè)備外形尺寸 | 360mm(L)*300mm(W)*195mm(H) |
重量 | 約6KG |
質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期,終生維護 |
注意事項 | · 如果使用鋼瓶作為氣源時,每只氣瓶最低必須保留0.5MPa的余壓; · 減壓閥應(yīng)采用調(diào)控范圍再0.02—0.25Mpa的專用氣體減壓閥; · 標準流量計通道采用的材料為:316L不銹鋼和氟橡膠密封圈,通入的氣體應(yīng)無水汽、低泄漏, 在使用流量計過程中需要定期進行清洗。如果要使用氯化物、硫化物、氨氣等易腐蝕氣體,請 在定貨時進行說明。由于定貨時沒有進行說明并通入腐蝕性氣體而造成的設(shè)備損壞公司售后維 修會收取相應(yīng)的費用。 · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有 毒氣體,請客戶自行做好相關(guān)防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題, 本公司概不負責(zé)。 |
Copyright © 2019 合肥科晶材料技術(shù)有限公司 版權(quán)所有 皖I(lǐng)CP備09007391號-1 皖公網(wǎng)安備 34012302000974號