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供氣系統(tǒng)GSL-3F
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三通道混氣、惰性氣體
型號(hào):
GSL-3F
產(chǎn)品概述:
GSL-3F是一款三通道混氣系統(tǒng),用于惰性氣體的控制,可用于小型管式爐、手套箱、等離子清洗機(jī)、小型PECVD系統(tǒng)等
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設(shè)備名稱(chēng)型號(hào)

供氣系統(tǒng) GSL-3F

產(chǎn)品特點(diǎn)

· 適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多種氣體的切換使用,而不會(huì)造成大氣進(jìn)入加熱管。

· 氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀,外形美觀、實(shí)用,操作簡(jiǎn)便。

· 顯示流量準(zhǔn)確,可有效控制氣體的消耗量

· 設(shè)備底部有滾動(dòng)輪,方便移動(dòng)

· 使用方便,無(wú)需通電

基本參數(shù)

· 浮子流量計(jì)量程:16-160ml/min、10-100ml/min、25-250ml/min

· 精度:4%

· 壓力表量程:-0.1-0.15MPa

· 通氣管道:φ6.35mm的聚四氟管

混氣罐

· 內(nèi)置一個(gè)不銹鋼混氣罐,可更好的混合氣體

· 混氣罐尺寸:直徑76*長(zhǎng)154mm 

氣口與閥門(mén)

· 背面的進(jìn)氣與出氣口均為φ6.35的卡套接頭,進(jìn)氣口通過(guò)四氟管連接氣瓶,出氣口通過(guò)四氟管連接到設(shè)備的進(jìn)氣口

· 兩個(gè)通道氣體進(jìn)入混氣罐混氣,一個(gè)氣體通道獨(dú)立

· 前面板的四個(gè)不銹鋼針閥控制氣體的進(jìn)出,獨(dú)立通道的進(jìn)出氣不受針閥控制

圖片2.png

設(shè)備外形尺寸

600mm(L)*600mm(W)*650mm(H)

圖片3.png

重量

75KG

質(zhì)保

一年保修,終身技術(shù)支持

· 因人為損壞或操作不當(dāng)造成的損壞不在保修范圍內(nèi)

· 因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)

注意事項(xiàng)

· 氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,開(kāi)啟減壓閥時(shí)應(yīng)注意其工作壓力使其PMAX<0.01MP,以免壓力過(guò)大造成氣路損壞

· 本設(shè)備不建議,不提倡使用,易燃易爆、有毒有害氣體。如果不采納我公司的建議,在使用過(guò)程中,出現(xiàn)人生安全及設(shè)備的損壞,本公司該不負(fù)責(zé)。

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