| 產(chǎn)品型號 | GSL-1700X-EV4 |
| 產(chǎn)品特點 | · 含有四個蒸發(fā)坩堝，可鍍膜4種不同的物料 · 每個坩堝上方均有擋板，保證了蒸發(fā)物料之間不相互污染 · 采用鎢絲藍為發(fā)熱源，最高溫度可到1500度 · 可旋轉(zhuǎn)樣品臺，保證了薄膜的均勻性 |
| 基本參數(shù) | · 電源：AC220V50HZ · 功率：2.5KW · 正常工作蒸發(fā)電流≤25A（此電流為電流表上的顯示電流） |
| 溫控系統(tǒng) | 工作溫度： · 最高溫度：1500℃ · 連續(xù)工作溫度：1400℃ · 推薦升溫速率：≤2℃/S，溫度越高升溫越慢 控溫系統(tǒng)： · 宇電30段智能控溫儀，可設(shè)置30段升降溫程序 · PID方式調(diào)節(jié)溫度 · 帶有溫度上限報警，操過上限溫度會切斷加熱開關(guān)，停止加熱 · 控溫精度:±1度 · 熱電偶：4根S型熱電偶 · 系統(tǒng)升溫模式分為自動和手動模式：自動模式下是由控溫儀表按程序 過程進行控溫，手動模式是調(diào)節(jié)電流大小來控溫，當前溫度仍可由儀表來顯示。 |
| 真空腔室 | · 石英罩：外徑φ280*內(nèi)徑φ262*L310mm · 四個蒸發(fā)坩堝：每個蒸發(fā)坩堝上配有一個鎢絲藍，容積為3ml · 四個蒸發(fā)坩堝上的物料可依次進行蒸發(fā)，不可同時進行 · 四個蒸發(fā)坩堝上均帶有擋板，每個擋板均由一個電機控制其位置 · 蒸發(fā)坩堝內(nèi)部配備有專門的隔熱氧化鋁坩堝，熱電偶安裝在坩堝底部，以便于溫度測量和控制。 · 配有裝樣品的氧化鋁坩堝：φ42*36mm · 真空腔室外有防護網(wǎng)罩
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| 法蘭和接口 | · 基片臺：可裝載基片最大尺寸為φ50mm。 · 基片臺可旋轉(zhuǎn)，保證鍍膜的均勻性 · 帶一個直徑φ6.35mm的卡套接頭作為進氣口，可通入惰性氣體，面板上有微量調(diào)節(jié)閥可調(diào)節(jié)進氣量大小 · 帶一個手動放氣閥 · 帶水冷管接頭，保護測厚儀 · 法蘭上可安裝測厚儀探頭（測厚儀為選配）
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| 真空系統(tǒng) | · 分子泵FF100/110(帶控制器） · 機械泵 VRD-8 · KF25真空接口 · 真空度：5*10-3Pa（分子泵抽真空1h的數(shù)據(jù)） · 機械泵：2Pa（機械泵抽真空30min的數(shù)據(jù)） · 如果真空度要求不高可不啟動分子泵 · 真空度檢測單元：電離規(guī)和電阻規(guī) · 顯示儀：復合真空計
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| 薄膜測厚儀（可選） | · 一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在儀器上，可實時監(jiān)測薄膜的厚度，分辨率為0.10 ? · LED顯示屏顯示，同時也可輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)
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| 水冷設(shè)備（選配） | · 型號：KJ-5000 · 工作電流：1.4-2.1A · 制冷量：2361Btu/h · 尺寸：55×28×43cm（長×寬×高） · 水箱容量：6L · 水流速率：16L/min
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| 外形尺寸 | 1300長*650寬*1450mm高
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| 重量 | 約120KG |
| 保質(zhì)期 | 1年（不包含爐管、O型圈、加熱元件等損耗件） |
使用注意事項 | · 石英管內(nèi)的氣壓不可高于0.02MPa； · 氣瓶上必須安裝減壓閥； · 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開出氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關(guān)防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負責。 |
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