| 電源 | ·AC 208-240V 單相 50/60 Hz ·功率；1.5 KW (手套箱); 2.5 KW ( 鍍膜儀) ·總功率: 4.0 KW |
| 手套箱 | ·腔體尺寸: 1200 mm L x 740 mm W x 900 mm H ·手套箱內(nèi) O2 & H2O 含量小于1PPM ·腔體材料: 304 不銹鋼，厚度3mm ·手套箱前倉門可開啟
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| 真空腔體和樣品臺 | ·鍍膜儀真空腔體采用SS304不銹鋼制作，安裝在手箱底部 ·頂部法蘭采用鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm，可手動開啟 ·2個使用觀察窗口安裝在腔體上 ·等離子濺射頭和2個蒸發(fā)加熱源安裝在真空腔體底部 ·一個可加熱旋轉(zhuǎn)樣品安裝在頂部法蘭上，最大可安裝直徑4英寸樣品。 ·樣品臺旋轉(zhuǎn)速度: 5 rpm ·一個旋轉(zhuǎn)擋板安裝在法蘭底部，避免蒸發(fā)源和濺射頭之間相互污染
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| 射頻濺射電源&濺射頭 | ·濺射電源：頻率13.5MHz,300W,自動匹配功能 ·一個2英寸的濺射頭（帶水冷卻管道），安裝在真空腔體上 ·一個流量16L/min的循環(huán)水冷機(jī)安裝在手套量底部 ·RF濺射儀可濺射導(dǎo)電和非導(dǎo)電材料 |
| 熱蒸鍍 | ·2個鎢線圈加熱源，帶有2個B型熱電偶和氧化鋁坩堝，安裝在真空腔體內(nèi)（圖1） ·1個控溫儀表，控溫精度±1℃，可設(shè)置30段溫度段（圖2） ·一個電源轉(zhuǎn)化按鈕，用于在2個加熱源之間轉(zhuǎn)化加熱 ·工作溫度: 200oC - 1700oC ·建議加熱速率: 0.3 oC/s (RT-1200 oC) 和 15 oC/s (1200oC - 1700 oC) ·配有4個氧化鋁坩堝和2個鎢絲加熱圈
圖1 圖2 |
| 真空泵 | ·KF25接口用于連接真空泵 ·最大真空度可達(dá)10-4Pa(采用分子泵系統(tǒng)） ·一個防腐型數(shù)字真空計安裝在真空腔體上 ·可在本公司選購各種真空泵
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| 薄膜測厚儀 | ·真空腔體內(nèi)安裝有一個高精度薄膜測厚儀，可實時監(jiān)測薄膜厚度 ·測量精度: 0.1 ?
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