| 產(chǎn)品特點(diǎn) | 手套箱前窗門設(shè)計(jì)為開啟式，便于放入設(shè)備 帶有一下沉式儲(chǔ)藏箱（Φ315mm×440mm）,可放入儀器（如旋涂?jī)x），而不占用手套箱主倉(cāng)空間 有循環(huán)凈化系統(tǒng),可是手套箱內(nèi)H2O & O2< 1ppm 可選配過度藏加熱，最高溫度可達(dá)200℃ |
| 電源要求 | 110VAC 或 220VAC, 50/60Hz, 單相 功率：5.5KW |
| 手套箱腔體 | 腔體材料：304不銹鋼，厚度3mm 前窗開啟式設(shè)計(jì)，材料為透明鋼化安全玻璃，厚度8mm 腔體為2接，每節(jié)腔體尺寸為1220mm(L) x 780mm(W) x 900mm(H)，總尺寸為 2440mm(L) x 780mm(W) x 900mm(H) 每節(jié)手套箱腔體頂部都安裝有滑動(dòng)物料板：300mmL×250mmW×300mmH 接口：每節(jié)箱體后側(cè)有4個(gè)KF40接口，共8個(gè)KF40接口 凈化系統(tǒng)確保手套箱內(nèi)O2和H2O含量小于1PPM 自動(dòng)凈化和再生功能可快速移出水和氧 手套箱腔體底部安裝有下沉式儲(chǔ)藏箱，可放入儀器（如旋涂?jī)x），而不占用手套箱主倉(cāng)空間 尺寸：Φ314mm(內(nèi)徑）×455mm（其他尺寸可定制），可放入本公司旋涂?jī)x 下沉式儲(chǔ)藏箱背面有1組KF40接口，可對(duì)接饋通，用于儀器主機(jī)與手套箱外的控制柜、真空泵和電源對(duì)接，不破壞手套箱內(nèi)部環(huán)境 下沉式儲(chǔ)存箱頂蓋上有一隱形把手，便于用戶在手套箱內(nèi)打開頂蓋
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| 旋轉(zhuǎn)涂層機(jī) | · 旋涂涂層殼體和旋轉(zhuǎn)盤采用聚丙烯（PP）制作，具有防腐蝕性。旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)可放入到手套箱的下沉式儲(chǔ)存箱中 · 控制盒和無油真空泵與旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)主機(jī)分開，可放在手套箱外，通過饋通與主機(jī)連接，便于操作 · 設(shè)備中標(biāo)配一過濾器，安裝與真空泵與主機(jī)之間，用于組織廢液進(jìn)入到真空泵里 · 腔體直徑: 150 mm. · 真空吸盤: Φ100mm,最大可裝載直徑為6英寸樣品 (如圖1) · 如果樣品直徑 < 10 mm,可選購(gòu)橡膠吸盤 ( 如圖2) · 可用藍(lán)帶來固定不規(guī)則樣品（如圖3） · 轉(zhuǎn)速: 500 - 8000 RPM（可程序設(shè)置6段轉(zhuǎn)速，控制器位于手套箱外便于操作）
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| 產(chǎn)品升級(jí)（可選） | · 上蓋加熱，最高溫度可加熱到120℃，可式樣品旋涂后進(jìn)行干燥（如圖1&2） · 可選購(gòu)精密單通道注液器，量程;20-200ul（如圖3） · 可用等離子清洗機(jī)，在涂覆前對(duì)基片進(jìn)行等離子清洗，提高涂膜質(zhì)量
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| 手套箱過度倉(cāng)加熱（可選） | 可加熱型過度倉(cāng)：最高溫度200℃，尺寸Φ385×588mm(L) 可選：手套箱兩側(cè)都有過度倉(cāng)
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| 產(chǎn)品尺寸 | 33115mm(L)×830mm(W)×1830mm(H)
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| 運(yùn)輸重量 | 約950kg |
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