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2通道ALD控制單元
型號:
ALD-GSL-4
產(chǎn)品概述:
ALD-GSL-4是一套2通道ALD控制系統(tǒng),包含4通道質(zhì)子流量計進行氣體的混合和輸送,可與本公司任意管式爐或腔體進行DIY,組建一套ALD系統(tǒng),用于薄膜的制備或者粉末表面的包覆復合。LCD觸摸屏可方便的對每一通道ALD的脈沖時間以及氣體流量進行控制。
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工作電壓&功率

AC220V 單相 50/60Hz  100W


PLC觸摸屏?

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通過6PLC觸摸屏對ALD蒸汽脈沖時間、氣體流量等參數(shù)進行設定控制

 

可控制2個ALD閥門的脈沖時間以及循環(huán)次數(shù)(毫秒級)

 

可控制4通道的氣體流量(4通道質(zhì)子流量計,精度±0.2%F.S)

 

真空壓力顯示

 

請點擊左圖查看控制界面

 

RS485 通訊接口和PC軟件可以連接到電腦上,進行遠程控制 


ALD進氣閥

對于兩種前驅(qū)體氣體的沉積,需2個ALD進氣閥進行控制(不包含在設備中)

 

客戶可使用自己已有的ALD閥或點擊下圖選購本公司ALD閥

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流量控制

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四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可用于4路氣體的通入和混合

  流量范圍:

  一路: 0~100 SCCM

  二路: 1~199 SCCM

  三路: 1~199 SCCM

  四路: 1~499 SCCM

 

注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

 

工作溫度:5~45oC  耐壓:3MPa  

 

精度: ±1.5% FS  線性: ±1%F.S.重復精度: ±0.2%F.S.


通氣管道

內(nèi)置不銹鋼混氣罐

 

內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管

 

外部通氣管道為1/4”聚四氟管


混氣罐

Φ80X120mm


截止閥及配件

316不銹鋼針閥   Φ1/4” 不銹鋼管


尺寸

600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)


質(zhì)保期

一年保質(zhì)期,終生維護


可選配件

可選購氣液混合裝置用于蒸汽的通入,點擊下圖查看詳情

 

客戶可另外付費由本公司對ALD控制單元以及管式爐系統(tǒng)進行連接組裝。

      

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