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1200℃小型雙爐體滑動TCVD爐(50mm石英管)
型號:
TCVD-OTF-1200X-S2-50SL
產品概述:
TCVD-OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐,爐管為Φ50×1600mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器最高溫度可以達到1200℃。兩個爐體可在雙向導柱滑軌上滑動,實現(xiàn)對原材料的蒸發(fā)/升華,及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現(xiàn)對樣品快速升降溫的需求。同時可選配電動滑軌、質量流量計(MFC)控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。
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技術參數(shù)產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
產品名稱

· 1200℃小型雙爐體滑動TCVD爐(50mm石英管)


產品提示

1.多種配件可選提示     2.科晶實驗室邀請?zhí)崾?/span>  ?  3.配件妥善保管提示


主要特點

· 包含兩個爐體。

· 爐子的底部安裝有一對滑軌,可手動使爐子從爐管的一側滑動到另一側,以實現(xiàn)快速加熱和快速冷卻。

· 最高溫度可達1200℃。

· 雙層殼體結構,并帶有風冷系統(tǒng),可有效降低殼體表面溫度。

· 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。

· 開門斷電,提高實驗安全性。


基本參數(shù)

· 最高溫度: 1200℃(≤30min)  工作溫度: 1000℃

· 推薦升溫速率:≤10℃/min

· 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金

· 電壓:220V

· 額定功率:3KW


爐管及滑軌

· 高純石英管50mm外徑x 1500mm長

· 鍍鉻鋼制成的雙滑軌

· 滑軌長度:1600毫米


真空法蘭

· 配有一套304不銹鋼密封法蘭,采用硅膠密封圈密封。

· 不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端,便于組裝。

· 左端法蘭采用1/4英寸的卡套接頭,用于通入反應氣體。

· 一個機械壓力表安裝在左端法蘭上,用于監(jiān)控管道壓力。

· 法蘭端提供多種接頭可選,具體請咨詢銷售。

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溫控系統(tǒng)

· 采用PID方式調節(jié)溫度,可設置50段升降溫程序

· 溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護

· 儀表控溫精度: +/- 1°C

· 熱電偶型號:K型


質保

· 一年保修,終身技術支持。
· 特別提示:

     1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。

     2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

 點擊查看售后服務承諾書


認證

· 此產品已通過CE認證

 證書編號:M.2021.206.C67998

應用技術提示

· 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥。

· 進入爐管的氣體流量需小于200sccm,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。

· 石英管的長時間使用溫度<1000℃。

· 降溫時請利用程序降溫,不建議直接按“STOP”鍵降溫,設備溫度未降到室溫前不要直接關掉設備電源,防止出現(xiàn)安全問題。

警示

· 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)。

· 爐管內氣壓不可高于0.02MPa。

· 爐管不建議正壓使用,對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)。

· 滑動加熱室即可快速冷卻樣品。 如果要這樣做,請穿戴防護裝備,例如耐熱服和手套。 加熱時請勿觸摸管子表面。

· 如需高溫取樣,請務必穿戴好安全裝置.


可選配件

· 建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。(請點擊這里學習如何安裝減壓閥)。(圖1)

· 可選購壓力控制模塊來監(jiān)控并保持工作腔室壓力穩(wěn)定。(圖2)

· 可選購歐陸儀型溫控儀表,控溫精度可以提升到±0.1℃。(圖3)

· 可選購石英管堵,提高路管內的潔凈度和幫助獲得高真空。(圖4)

· 可選購石英舟盛放樣品。(圖5)

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          圖1                       圖2                         圖3


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          圖4                        圖5                        

電動滑軌(選配)

· 可選購電動滑軌,更加方便安全。

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CVD系統(tǒng)(選配)

· 可搭配等離子射頻電源、供氣系統(tǒng)來搭建TCVD系統(tǒng)。

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溫度校準(選配)

· 定期對管式爐進行溫度校準,可保持溫度的準確性和均勻性。您可以在我公司選購一個簡單的校準工具包,輔助您完成這項工作,完整的校準套件包括:

· K型熱電偶

· Omega溫度校準器

· 熱電偶補償線

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PC控制(選配)

· 請在購買爐子前,準備一臺電腦。

· 可選購MTS-02?控制軟件,可在電腦上顯示和設定壓力和溫度程序,以達到遠程控制。

· 購買帶有PC控制的加熱爐,如有疑問請聯(lián)系我們的銷售人員。

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真空配件(選配)

· 真空可選配件包括真空泵,波紋管和手動擋板閥。

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· 對于易損耗件高溫硅膠O型密封圈除了標配數(shù)量外可進行額外訂購。

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· 機械真空計(作為設備標配),范圍從-0.1到0.15Mpa。

· 可選配防腐型數(shù)顯真空表,測量范圍為3.8×10E -5至1125 Torr之間。除了具有較高的精度和重復性及較短的響應時間外,該儀表還降低了由于氣體類型依賴性而造成的氣壓讀數(shù)錯誤從而導致的腔室爆炸風險。

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真空泵組(選配)

此設備也可以進行抽真空,配合本公司生產的真空泵組

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